三甲基硅烷

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三甲基硅烷
识别
CAS号 993-07-7
ChemSpider 63614
SMILES
性质
化学式 C3H10Si
摩尔质量 74.2 g·mol−1
密度 0.638 g cm-3
熔点 -135.9 °C(137 K)
沸点 6.7 °C(280 K)
危险性
警示术语 R:R12, R36/37/38
安全术语 S:S9, S16, S26, S33
欧盟分类 易燃 F
NFPA 704
NFPA 704.svg
4
2
1
 
若非注明,所有数据均出自一般条件(25 ℃,100 kPa)下。

三甲基硅烷三甲基硅化氢,是一种有机硅化合物,化学式为C3H10Si,结构简式(CH3)3SiH。它是一种极易燃的物质。三甲基硅烷用于半导体工业中的等离子相腐蚀剂。[1]

参见[编辑]

参考资料[编辑]

  1. ^ Chen, Sheng-Wen; Wang, Yu-Sheng; Hu, Shao-Yu; Lee, Wen-Hsi; Chi, Chieh-Cheng; Wang, Ying-Lang. A Study of Trimethylsilane (3MS) and Tetramethylsilane (4MS) Based α-SiCN:H/α-SiCO:H Diffusion Barrier Films. Materials. 2012, 5 (3): 377. doi:10.3390/ma5030377.