俄歇电子能谱学

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俄歇电子能谱学(Auger electron spectroscopy,簡稱AES),是一种表面科学材料科学分析技术。因此技術主要藉由俄歇效應進行分析而命名之。這種效應係產生於受激發原子的外層電子跳至低能階所放出的能量被其他外層電子吸收而使後者逃脫離開原子,這一連串事件稱為俄歇效應,而逃脫出來的電子稱為俄歇電子。1953年,俄歇电子能谱逐漸開始被實際應用於鑑定樣品表面的化學性質及組成的分析。其特點在俄歇電子來自淺層表面,僅帶出表面的資訊,並且其能譜的能量位置固定,容易分析。

氮化铜薄膜派生模式的俄歇光谱

参见[编辑]

参考文献[编辑]

通过俄歇和X光光电子光谱学实现表面分析, ed. John T. Grant and David Briggs, published by IM Publications, 2003, Chichester, UK