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光罩

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一片光罩的展示品

光罩英语Reticle, Mask):在製作集成电路的過程中,利用光蝕刻技術,在半導體上形成圖型,為將圖型複製於晶圓上,必須透過光罩作用的原理[1]。比如沖洗照片時,利用底片將影像複製至相片上。

結構[编辑]

  • 實體結構:佈滿積體電路圖像的鉻金屬薄膜的石英玻璃片上的圖像。
  • 倍縮光罩(Reticle):當鉻膜玻璃僅能局部覆蓋晶圓稱為倍縮光罩,通常圖型要放大4倍、5倍或10倍。
  • 光罩(Mask):當鉻膜玻璃上的圖像能覆蓋整個晶圓時稱之為光罩。

種類[编辑]

相位移光罩、二元光罩

参考文献[编辑]