光罩

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一片光罩的展示品

光罩（英文：Reticle, Mask）：在製作IC的過程中，利用光蝕刻技術，在半導體上形成圖型，為將圖型複製於晶圓上，必須透過光罩做用的原理[1]。比如沖洗照片時，利用底片將影像複製至相片上。

結構 [编辑]

  • 實體結構：佈滿積體電路圖像的鉻金屬薄膜的石英玻璃片上的圖像。
  • 倍縮光罩（Reticle）：當鉻膜玻璃僅能局部覆蓋晶圓稱為倍縮光罩，通常圖型要放大4倍、5倍或10倍。
  • 光罩（Mask）：當鉻膜玻璃上的圖像能覆蓋整個晶圓時稱之為光罩。

種類 [编辑]

相位移光罩、二元光罩

参考文献 [编辑]

  1. ^ 光罩.Mask.Reticle
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