离子注入

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一離子注入系統

離子注入是一種將離子在電場裡加速,並嵌入到另一固體的材料科學。這個過程用於改變該固體的物理、化學或電子性質。離子注入用在半導體器件製造和某些材料科學研究。離子注入可以導致核轉變,又或改變其晶體結構

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