SOS (半导体)

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蓝宝石上的硅英语silicon on sapphire, SOS)是集成电路制造工艺中的一种异质外延技术,它将一层较薄(通常小于0.6微米)的生长在蓝宝石(主要成分为氧化铝晶圆上。SOS技术是CMOS技术中SOISilicon On Insulator, SOI,绝缘体上的硅)的一部分。

参考文献[编辑]

  • 杨树人,王宗昌,王兢. 半导体材料(第2版). 科学出版社. 2004. ISBN 7-03-012817-6.