TCAD

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TCAD就是Technology Computer Aided Design,指半导体工艺模拟以及器件模拟工具,世界上商用的TCAD工具有Silvaco公司的AthenaAtlas,Synopsys公司的TSupprem和Medici以及ISE公司(已经被Synopsys公司收购)的Dios和Dessis 以及Crosslight Software公司的Csuprem和APSYS。此外还有维也纳TCAD GlobalSolution公司的TCAD套件,以及新加坡Cogenda公司的VisualTCAD套件。