等离子渗氮

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左侧是阳极,右侧为需要渗氮的工件

等离子渗氮也称离子渗氮辉光渗氮,是一种利用等离子技术对烧结材料、各类[1]金属进行表面硬化的方法,属于渗氮工艺的一种[2]。以炉体为阳极,工件为阴极,加上几百直流电压氮气氢气的气体分子被离子化,产生辉光放电。正电荷对工件表面的轰击作用加速,将工件加热到氮化温度(350°C – 600°C)。氮离子在钢件表面得到电子,还原为氮原子,渗入钢件表面并向内扩散,产生Fe-N固溶体和氮化物扩散层,可显著提高不锈钢材料的耐磨和耐腐蚀性能[3]。此过程处理是通过扩散而不是涂层[4],应用PVDPECVD英语Plasma-enhanced chemical vapor deposition涂层混合技术,可更好的控制氮化层特性[5]

参考文献[编辑]

  1. ^ 典型的等离子渗氮结果 (PDF). Rubig. [2021-06-22]. 
  2. ^ 等离子渗氮. diener. [2021-06-22]. 
  3. ^ 等离子体所在大气压等离子体渗氮技术研究中取得新进展. 中国科学院等离子体物理研究所. 2020-08-19 [2021-06-22]. 
  4. ^ IONIT. Oerlikon. [2021-06-22]. 
  5. ^ 等离子渗氮机. PD2i. [2021-06-22].