原子层沉积

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原子层沉积(英文:Atomic layer deposition)是一种可以将物质单原子膜形式一层一层的在基底表面的方法。原子层沉积与普通的化学沉积有相似之处。但在原子层沉积过程中,新一层原子膜的化学反应是直接与之前一层相关联的,这种方式使每次反应只沉积一层原子。原子层沉积的主要反应物有两种化学物质,通常被称作前驱物。

原子层沉积的示意图:[1]