跳转到内容

薄膜生长技术

维基百科,自由的百科全书

这是本页的一个历史版本,由Schenad留言 | 贡献2017年10月13日 (五) 18:59 (增加或调整内部链接)编辑。这可能和当前版本存在着巨大的差异。

薄膜的生长半导体制造中一项重要的工艺。薄膜生长技术总的来说可以分为物理方法和化学方法。常见的薄膜生长技术包括: