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基本结构

应用

传感器	微测辐射热计（英语：Microbolometer）
执行器	梳狀致動刮板式微致动器（英语：Scratch drive actuator）微机电系统电热致动器（英语：MEMS electrothermal actuator）
开关	Digital micromirror device（英语：Digital micromirror device）光学开关
其他	Millipede存储射頻微機電系統（英语：Radio-frequency microelectromechanical system）微机电系统微光子学（英语：Microphotonics）生物微機電系統（英语：Bio-MEMS）微功率（英语：Micropower）微流控

制程

通用	表面微加工（英语：Surface micromachining）体微加工（英语：Bulk micromachining）薄膜沉积刻蚀打線接合
专用	LOCOS 浅槽隔离（英语：Shallow trench isolation） LIGA Lift-off 光刻技术 SOI 智能剥离（英语：Smart cut）