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自动光学检查

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CCD自动光学镜头处理检测物件

自动光学检查(英语:Automated Optical Inspection,简称AOI),为高速高精度光学影像检测系统,运用机器视觉做为检测标准技术,作为改良传统上以人力使用光学仪器进行检测的缺点,应用层面包括从高科技产业之研发、制造品管,以至国防、民生、医疗、环保、电力…等领域。

自动光学检查是工业制程中常见的代表性手法,利用光学仪器取得成品的表面状态,再以电脑影像处理技术来检出异物或图案异常等瑕疵,因为是非接触式检查,所以可在中间工程检查半成品。高精度光学影像检测系统,包含量测镜头技术、光学照明技术、定位量测技术、电子电路测试技术、影像处理技术及自动化技术应用等领域,其开发应用不但符合高科技产业发展需求,其技术层面更可扩展至国防军事工业,举凡兵工武器制造、夜视作战系统、战略地形形貌之分析与研判等,都与此影像技术息息相关。


基本架构

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LCD工业的自动光学检测设备
自动光学检测设备组成部位:
  • 光学部分:
    • CCD Camera(检测镜头)──
    • 光源(上下光源打光)──
    • Review Camera(复检确认镜头)──
  • 系统主机部分(由个人电脑与周边组成):
    • CIM系统主机──
    • 系统主机萤幕──
    • 瑕疵检查主机──
    • 瑕疵检查主机萤幕──

应用

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AOI技术领域非常广泛,广义的AOI为结合光学感测系统、讯号处理系统及分析软件,应用层面可包括宇宙探测航空、卫星遥测、生物医学、工业生产品质检测、指纹比对、机器人控制、多媒体技术。

狭义的AOI则指目前大量应用工业自动化的LCD/TFT晶体管PCB工业制程上的光学检测设备,以及在IC及一般电子业、机械工具/自动化机械、电机/电子工业、金属钢铁业、食品加工/包装业、纺织皮革工业、汽车工业、建筑材料、保全/监视等的自动光学结合影像处理的系统。

发展趋势

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  • 技术规格
  1. 完整行程须在60 秒内(甚至更短)
  2. 错误判断发生率的降低(避免操作人员的重复检查)
  3. 尽可能的减少稼动损失(例如减少交换被检查单元的时间)
  4. 提高模糊比对的功能
  5. 影像分辨率不断提高
  6. 可检测出周边线路(以往只需要检测面板内部)
  7. 可储存面板的瑕疵影像
  8. 自动分类瑕疵
  • 设备功能
  1. 可输出分析表格与图形
  2. 可检出Mura英语Mura (Japanese term)瑕疵功能
  3. 可处理修补瑕疵功能

参考连结

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参照

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参考文献

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  • 陈茂成,“从国际FPD 产业趋势看国内发展商机与挑战”,工研院IEK 产业情报网,2004 年12 月。
  • 黄仲龙,“提升LCD 设备自制率议题评析”,工研院IEK 产业情报网,2004 年11 月。
  • 五十岚大作,小田切章,久保哲夫, “The Latext Optical Inspection Equipment that influences the Yield of Large-screen, Flat-screen TV Production”, 14th FPD manufacturing technology expo& conference, Tokyo Big Sight, Tower Bldg., Japan, July, 2004.
  • 张钧杰,黄俊尧,郑晃忠,“缺陷检测技术在液晶显示器制造之应用”,科仪新知,25 卷第二期,第23 页至35 页,2003 年10 月。
  • 林道荣,“薄膜晶体管液晶面板自动光学检测设备发展概况”,台湾工银金融电子周报,2004 年06 月。
  • Jung-Hun Kim, Suk Ahn, Jae Wook Jeon, Jong-Eun Byun, “A highspeed high-resolution vision system for the inspection of TFT LCD”, IEEE International Symposium on Industrial Electronics, Proceedings. ISIE 2001, vol.1, pp101-105, 2001.
  • 黄仲龙,“LCD 设备产业发展概况与发展机会”,机械工业杂志,256 期,2004 年7 月。
  • K. Nakashima, “Hybrid Inspection System for Color Filter Planes”,Proceedings of IEEE Instrumentation and Measurement Technology Conference, Hamamatsu, Japan, Vol. 2, pp. 689-692 ,1994.