分類:表面分析技術

表面分析技術係指測量時，能控制訊號來自材料之表面淺層的一種分析技術。常見的方法多以測量來自表面的光子、電子或離子訊號。一般來說，光子以掠角（Grazing-incident angle）入射進入材料表面時，可取得僅來自表面淺層之訊號。電子與離子訊息則因能逃脫出材料的，皆來自淺層表面，因而其探測深度分別約為數埃（與電子能量有關）與表面一至二層原子深度。