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白光干涉显微镜

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白光干涉显微镜(White light Interferenc microscope),是使用光干涉原理来展示物件的内部或表面的显微镜。

通过奈米垂直扫描器与干涉物镜使分辨率达到 0.1nm,因此应用于3D高精度量测