重氮萘醌
外觀
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重氮萘醌 | |
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IUPAC名 2-Diazo-2H-naphthalen-1-one | |
別名 | 1,2-Naphthoquinone diazide |
識別 | |
CAS號 | 879-15-2 |
PubChem | 9815339 |
ChemSpider | 7991089 |
SMILES |
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InChI |
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InChIKey | URQUNWYOBNUYJQ-UHFFFAOYAU |
性質 | |
化學式 | C10H6N2O |
摩爾質量 | 170.17 g·mol−1 |
若非註明,所有數據均出自標準狀態(25 ℃,100 kPa)下。 |
重氮萘醌(英語:diazonaphthoquinone)是萘醌的重氮衍生物。 一旦曝光,它將經歷沃爾夫重排反應以形成烯酮。[1]在半導體行業中,各種重氮萘醌的衍生物可被用作光刻膠的感光劑。
在半導體製造的過程中,重氮萘醌的磺酸酯通常會用作光刻膠材料中的正性感光劑。[2][3]在這種應用中,重氮萘醌會與酚醛樹脂混合,以作為溶解抑制劑。在曝光的過程中,部分光刻膠膜會暴露在光線下,而其他部分則不會。在未曝光的區域裡,含有重氮萘醌的光刻膠膜仍然會不溶於水基顯影液中。 而在曝光的區域裡,重氮萘醌會形成烯酮,由此再與環境中的水形成可溶於鹼的茚並羧酸。光刻膠膜中已曝光的區域因而可溶於鹼性溶劑,從而將光刻膠層中的圖形顯現出來。
參考文獻
[編輯]- ^ N. C. de Lucas; J. C. Netto-Ferreira; J. Andraos; J. C. Scaiano. Nucleophilicity toward Ketenes: Rate Constants for Addition of Amines to Aryl Ketenes in Acetonitrile Solution. J. Org. Chem. 2001, 66 (5): 5016–5021. PMID 11463250. doi:10.1021/jo005752q.
- ^ Chemical Information Review Document for Diazonaphthoquinone Derivatives Used in Photoresists (頁面存檔備份,存於網際網路檔案館), National Toxicology Program, January 2006
- ^ Integrated Circuits: A Brief History. [2018-08-30]. (原始內容存檔於2020-02-22).