風機過濾機組

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微電子生產用無塵室之天花板骨架安裝風機過濾機組

風機過濾機組(英文: Fan Filter Unit,簡稱: FFU),是一種結合送風機與高效濾網(HEPA/ULPA)氣流循環與過濾之無塵室潔淨設備,主要是用來過濾來自作業場所空氣中所存在有害空氣中的粉塵顆粒,提供潔淨之空氣。FFU的無塵室大致可分層流型(laminar)與紊流型(turbulent)無塵室兩大類[1],層流型都在Class 1000以下,而紊流型無塵室則是在Class 1000以上;主要安裝於無塵室天花板上及機台上方[2],或網格地板內安裝此設備,提供無塵室與機台所需之氣流循環與空氣濾淨;在台灣,使用此設備大致採送風式居多。

設備之使用環境大多為半導體電子資訊航太製藥生物工程醫療食品實驗室等高產業領域,而這些領域之生產環境皆具備嚴苛的高要求。FFU之經常使用由於在空間中有一定高度限制,設置較小的內部地板尺寸的唯一系統。此外,若涉及小於20的過濾器時,則風扇供電HEPA,FFU之設計往往被認為是可比傳統的管道式供給系統來得更便宜。[3]

參考文獻[编辑]

  1. ^ 風機─濾網機組(Fan-Filter Unit)技術 台灣綠色生產力基金會
  2. ^ 無塵室風機-濾網機組的測試 半導體科技 2005年5月3日
  3. ^ CleanRooms 22. March 2008. p. 36. ISSN 1043-8017. Retrieved 26 October 2011.