風機過濾機組
外觀
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風機過濾機組(英文: Fan Filter Unit,簡稱: FFU),是一種結合送風機與高效濾網(HEPA/ULPA)氣流循環與過濾之無塵室潔淨設備,主要是用來過濾來自作業場所空氣中所存在有害空氣中的粉塵顆粒,提供潔淨之空氣。FFU的無塵室大致可分層流型(laminar)與紊流型(turbulent)無塵室兩大類[1],層流型都在Class 1000以下,而紊流型無塵室則是在Class 1000以上;主要安裝於無塵室天花板上及機台上方[2],或網格地板內安裝此設備,提供無塵室與機台所需之氣流循環與空氣濾淨;在台灣,使用此設備大致採送風式居多。
設備之使用環境大多為半導體、電子資訊、航太、製藥、生物工程、醫療、食品、實驗室等高產業領域,而這些領域之生產環境皆具備嚴苛的高要求。FFU之經常使用由於在空間中有一定高度限制,設置較小的內部地板尺寸的唯一系統。此外,若涉及小於20的過濾器時,則風扇供電HEPA,FFU之設計往往被認為是可比傳統的管道式供給系統來得更便宜。[3]
參考文獻
[編輯]- ^ 風機─濾網機組(Fan-Filter Unit)技術 (頁面存檔備份,存於互聯網檔案館) 台灣綠色生產力基金會
- ^ 無塵室風機-濾網機組的測試 (頁面存檔備份,存於互聯網檔案館) 半導體科技 2005年5月3日
- ^ CleanRooms (頁面存檔備份,存於互聯網檔案館)22. March 2008. p. 36. ISSN 1043-8017. Retrieved 26 October 2011.