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梳状致动

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数位全息显微镜底下的梳状致动器

梳状致动是驱动器的一种,通常利用两导电梳齿的静电力来进行驱动。

原理

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对固定梳齿及移动梳齿施加电压时,两者之间会产生静电力而相互吸引。致动器产生的力量大小,与梳齿间的电容变化成正比;驱动电压的大小、梳齿数量与梳齿间的间隙亦会有所影响。梳齿被设计成不会相互接触 (因为那样就不会产生电压差)。一般来说, 会设计成每个齿都能滑过另一个齿并卡入到相对应的凹槽中。

若将马达的线性运转转换成旋转或其他运动,则可以操纵弹簧杠杆及曲轴。

静电力可透过最初存储于电容内的电能生成,再进一步区分为斥力或引力。存储于电容中的电能可由以下公式求得:

若使用平行导电板作为电容,则产生的力F为:

=施加的电动势, =相对介电常数, =真空介电常数(8.85pF/m) =两侧电极的总齿数, =电极板的厚度, =电极之间的间隙。

梳状驱动器的结构

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  • 可互相卡入的成排梳齿,一半固定,另一半为可移动,且为电隔离
  • 静电引力/斥力
  • CMOS驱动电压
  • 增加齿数以产生更大的力量 (通常为10μm)

尺寸问题

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梳状致动器的应用尺度通常是微米或奈米等级,并透过由块体微加工或表面微加工生成的矽晶薄片加以制成。梳状致动器无法将间隙 (等同于驱动距离) 增加太多。因为间隙越大,所要求的驱动电压就越大。因此这部分会受到电击穿的限制。更重要的一点是,间隙大小的限制等同于对驱动距离的限制。

参见

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参考文献

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