VLS合成法採用激光融化的粒子或者一種原料氣硅烷作源（材料）,然後把源(材料)暴露在一種催化劑中。對納米線來說，最好的催化材料是液體金屬（比如金）的納米簇。它可以被以膠質的形式購買，然後被沉積在基質上或通過去濕法從薄膜上自我組裝。
源（材料）進入到這些納米簇中並充盈其中。一旦達到了超飽和，源（材料）將固化，並從納米簇上向外生長。最終產品的長度可由源材料的供應時間來控制。具有交替原子的超級網格結構的化合物納米線可以通過在生長過程中交替源（材料）供應來實現。
