電子束微影（electron beam lithography）指使用電子束在表面上製造圖樣的製程，是微影技術的延伸應用。
微影技術的精度受到光子在波長尺度上的散射影響。使用的光波長越短，微影能夠達到的精度越高。根據德布羅意的物質波理論，電子是一種波長極短的波。這樣，電子束微影的精度可以達到奈米量級，從而為製作奈米線提供了很有用的工具。電子束微影需要的時間長是它的一個主要缺點。為了解決這個問題，奈米壓印術應運而生。
電子束微影在半導體工業中被廣泛使用於研究下一代超大型積體電路。
