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於潜县是浙江省内最早设立的几个县之一,始设于秦统治时期。存县期间,其行政范围约为今临安区的中部,县城在於潜镇。
宋代先并入昌化县,后并入临安县。清末太平天国运动时期,於潜县相继被太平军和湘军占领,双方的厮杀导致该县人口大量非正常死亡。1958年,於潜县废除,结束2000余年的历史。