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薄膜沉积
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薄膜沉积
”。
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M
分子束外延
原
原子层沉积
有
有机金属化学气相沉积法
浸
浸润层
溶
溶膠凝膠
热
热喷涂
热障涂层
等
等离子喷涂
类
类金刚石碳
脉
脉冲激光沉积
蒸
蒸发
蒸鍍
镀
镀层
高
高功率脉冲磁控溅射
分类
:
半导体物理学