於潛縣是浙江省內最早設立的幾個縣之一，始設於秦統治時期。存縣期間，其行政範圍約為今臨安區的中部，縣城在於潛鎮。
宋代先併入昌化縣，後併入臨安縣。清末太平天國運動時期，於潛縣相繼被太平軍和湘軍占領，雙方的廝殺導致該縣人口大量非正常死亡。1958年，於潛縣廢除，結束2000餘年的歷史。
