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离子注入

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“离子注入”的各地常用名称
中国大陆离子注入
台湾离子布植[1]、离子植入[2]
港澳离子注入[3]
一离子注入系统

离子注入是一种将特定离子在电场里加速,然后嵌入到另一固体材料之中的技术手段。使用这个技术可以改变固体材料的物理化学性质,现在已经广泛应用于半导体器件制造和某些材料科学研究。离子注入可以导致核嬗变,或改变某些固体材料的晶体结构

参见

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参考文献

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  1. ^ 離子佈植. 乐词网. 国家教育研究院. [2023-12-25].  (繁体中文)
  2. ^ 離子植入法. 乐词网. 国家教育研究院. [2023-12-25].  (繁体中文)
  3. ^ 離子注入與電鍍實驗室. 香港科技大学纳米系统制造实验所. [2023-11-19]. (原始内容存档于2020-02-19). 

外部链接

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