二氯矽烷
| 二氯矽烷 | |||
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| IUPAC名 Dichlorosilane[1] | |||
| 別名 | 二氯甲矽烷 | ||
| 識別 | |||
| 縮寫 | DCS | ||
| CAS號 | 4109-96-0 
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| PubChem | 61330 | ||
| ChemSpider | 55266 | ||
| SMILES |
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| UN編號 | 2189 | ||
| EINECS | 223-888-3 | ||
| RTECS | VV3050000 | ||
| MeSH | dichlorosilane | ||
| 性質 | |||
| 化學式 | SiH 2Cl 2 | ||
| 摩爾質量 | 101.007 g mol−1 g·mol⁻¹ | ||
| 外觀 | 無色氣體 | ||
| 密度 | 1.22 g cm−3 | ||
| 熔點 | −122 °C（151 K） | ||
| 沸點 | 8 °C（281.4 K） | ||
| 溶解性（水） | （反應） | ||
| 蒸氣壓 | 167.2 kPa (at 20 °C) | ||
| 熱力學 | |||
| ΔfHm⦵298K | −320.49 kJ mol−1 | ||
| S⦵298K | 286.72 J K−1 mol−1 | ||
| 危險性 | |||
| 警示術語 | R：R12, R14, R26, R35 | ||
| 安全術語 | S：S26, S36/37/39, S45, S53, S60 | ||
| 歐盟分類 |  F+  T+
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GHS危險性符號  
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| GHS提示詞 | DANGER | ||
| H-術語 | H220, H250, H280, H314, H330 | ||
| P-術語 | P210, P261, P305+351+338, P310, P410+403 | ||
| NFPA 704 |
 4
4
2
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| 爆炸極限 | 4.1–99% | ||
| 相關物質 | |||
| 相關化合物 | 氯矽烷 三氯矽烷 四氯化矽 | ||
| 相關化學品 | 二氯甲烷 | ||
| 若非註明，所有數據均出自標準狀態（25 ℃，100 kPa）下。 | |||
二氯矽烷，縮寫DCS，是一種無機化合物，化學式為H2SiCl2。
製備
[編輯]二氯矽烷可由矽烷和氯化氫按化學計量比在三氯化鋁催化劑的存在下反應製備：[2]
它也可以利用三氯矽烷來製備：[3]
- 2 SiHCl3 ⇔ SiCl4 + SiH2Cl2
化學性質
[編輯]二氯矽烷遇水水解，產生多聚矽氧烷（-H2Si-O-）n；和氨反應氨解，產生(-H2SiNH-)n[2]。
用途
[編輯]二氯矽烷可以用來做微電子裏的半導體矽層的起始物料，其優點是它在較低溫度可以分解，並且有較高的矽晶體生長速率。[3]
安全風險
[編輯]二氯矽烷是一種化學性質活潑的氣體，在空氣中可以迅速水解並自燃。它的毒性也很大，利用它的任何實驗都需要有保護性措施。[4]其安全風險還包括皮膚和眼睛的刺激與吸收。[5]
參考資料
[編輯]- ^ Nchem.403-comp13 - Compound Summary. PubChem Compound. USA: National Center for Biotechnology Information. Identifiers and Related Records. 27 March 2005 [30 November 2011].
- ^ 2.0 2.1 郝潤蓉，方錫義，鈕少沖. 《無機化學叢書》第三卷 碳 矽 鍺 分族. 北京：科學出版社, 2011. P142. 2.3 鹵代矽烷（SiHnX4-n）. ISBN 978-7-03-030549-7
- ^ 3.0 3.1 Vorotyntsev, V., Mochalov, G., Kolotilova, M., Kinetics of Dichlorosilane Separation from a Mixture of Chlorosilanes by Distillation Using a Regular Packing, Theoretical Foundations of Chemical Engineering, 38(4), 355-359
- ^ Vorotyntsev, V., Mochalov, G., Kolotilova, Volkova, E., Gas-Chromatographic and Mass-Spectrometric Determination of Impurity Hydrocarbons in Organochlorine Compounds and Dichlorosilane, Journal of Analytical Chemistry, 61(9), 883-888.
- ^ Praxair Material Safety Data Sheet (2007)