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二氯矽烷

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二氯矽烷
Ball and stick model of dichlorosilane
Spacefill model of dichlorosilane
IUPAC名
Dichlorosilane[1]
別名 二氯甲矽烷
識別
縮寫 DCS
CAS號 4109-96-0  checkY
PubChem 61330
ChemSpider 55266
SMILES
 
  • Cl[SiH2]Cl
UN編號 2189
EINECS 223-888-3
RTECS VV3050000
MeSH dichlorosilane
性質
化學式 SiH
2
Cl
2
摩爾質量 101.007 g mol−1 g·mol⁻¹
外觀 無色氣體
密度 1.22 g cm−3
熔點 −122 °C(151 K)
沸點 8 °C(281.4 K)
溶解性 (反應)
蒸氣壓 167.2 kPa (at 20 °C)
熱力學
ΔfHm298K −320.49 kJ mol−1
S298K 286.72 J K−1 mol−1
危險性
警示術語 R:R12, R14, R26, R35
安全術語 S:S26, S36/37/39, S45, S53, S60
歐盟分類 極易燃 F+ 劇毒 T+
GHS危險性符號
《全球化學品統一分類和標籤制度》(簡稱「GHS」)中易燃物的標籤圖案《全球化學品統一分類和標籤制度》(簡稱「GHS」)中腐蝕性物質的標籤圖案《全球化學品統一分類和標籤制度》(簡稱「GHS」)中有毒物質的標籤圖案
GHS提示詞 DANGER
H-術語 H220, H250, H280, H314, H330
P-術語 P210, P261, P305+351+338, P310, P410+403
NFPA 704
4
4
2
 
爆炸極限 4.1–99%
相關物質
相關化合物 氯矽烷
三氯矽烷
四氯化矽
相關化學品 二氯甲烷
若非註明,所有數據均出自標準狀態(25 ℃,100 kPa)下。

二氯矽烷,縮寫DCS,是一種無機化合物,化學式為H2SiCl2

製備

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二氯矽烷可由矽烷氯化氫按化學計量比在三氯化鋁催化劑的存在下反應製備:[2]

它也可以利用三氯矽烷來製備:[3]

2 SiHCl3 ⇔ SiCl4 + SiH2Cl2

化學性質

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二氯矽烷遇水水解,產生多聚矽氧烷(-H2Si-O-)n;和氨反應氨解,產生(-H2SiNH-)n[2]

用途

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二氯矽烷可以用來做微電子裏的半導體層的起始物料,其優點是它在較低溫度可以分解,並且有較高的矽晶體生長速率。[3]

安全風險

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二氯矽烷是一種化學性質活潑的氣體,在空氣中可以迅速水解並自燃。它的毒性也很大,利用它的任何實驗都需要有保護性措施。[4]其安全風險還包括皮膚和眼睛的刺激與吸收。[5]

參考資料

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  1. ^ Nchem.403-comp13 - Compound Summary. PubChem Compound. USA: National Center for Biotechnology Information. Identifiers and Related Records. 27 March 2005 [30 November 2011]. 
  2. ^ 2.0 2.1 郝潤蓉,方錫義,鈕少沖. 《無機化學叢書》第三卷 碳 矽 鍺 分族. 北京:科學出版社, 2011. P142. 2.3 鹵代矽烷(SiHnX4-n). ISBN 978-7-03-030549-7
  3. ^ 3.0 3.1 Vorotyntsev, V., Mochalov, G., Kolotilova, M., Kinetics of Dichlorosilane Separation from a Mixture of Chlorosilanes by Distillation Using a Regular Packing, Theoretical Foundations of Chemical Engineering, 38(4), 355-359
  4. ^ Vorotyntsev, V., Mochalov, G., Kolotilova, Volkova, E., Gas-Chromatographic and Mass-Spectrometric Determination of Impurity Hydrocarbons in Organochlorine Compounds and Dichlorosilane, Journal of Analytical Chemistry, 61(9), 883-888.
  5. ^ Praxair Material Safety Data Sheet (2007)