準分子雷射

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準分子雷射英文:Excimer laser)是指受到電子束激發的惰性氣體鹵素氣體結合的混合氣體形成的分子向其基態躍遷時發射所產生的雷射

準分子雷射屬於冷雷射,無熱效應,是方向性強、波長純度高、輸出功率大的脈衝雷射光子能量波長範圍為157-353奈米壽命為幾十毫微秒,屬於紫外光。最常見的波長有157 nm、193 nm、248 nm、308 nm、351-353 nm。

歷史[編輯]

準分子雷射由Nikolai Basov, V. A. Danilychev 和 Yu. M. Popov等人於1970在莫斯科物理研究所發明。使用電子束激發氙氣二聚體,產生的準分子雷射波長為172nm。[1]

1975年包括美國政府的海軍研究實驗室[2]諾思羅普研究和技術中心[3],Avco Everett研究實驗室[4],和美國桑迪亞國家實驗室[5]在內的多家政府研究機構研究利用電子束激發惰性氣體鹵化物

1979年西德Lambda Physik公司生產出第一台商業用準分子雷射器

迄今為止已經發現的能夠產生準分子雷射的氣體有10多種。

應用[編輯]

目前準分子雷射已廣泛應用在臨床醫學以及科學研究工業應用方面,如:鑽孔、標記表面處理、雷射化學氣相沉積物理氣相沉積磁頭光學鏡片矽晶圓的清潔、微機電系統相關的微製造技術等等。

準分子雷射於90年代始在醫學上得到運用,主要有:

參考資料[編輯]

  1. ^ N. G. Basov, V. A. Danilychev, Y. Popov, and D. D. Khodkevich (1970). Zh. Eksp. Fiz. i Tekh. Pis'ma. Red. 12: 473.
  2. ^ Searles, SK; GA Hart. Stimulated emission at 281.8 nm from XeBr. Applied Physics Letters. 1975年, 27: 243. 
  3. ^ Ault, ER; RS Bradford Jr., ML Bhaumik. High-power xenon fluoride laser. Applied Physics Letters. 1975年, 27: 413. 
  4. ^ Ewing, JJ; CA Brau. Laser action on the 2 Sigma+ 1/2--> 2 Sigma+ 1/2 bands of KrF and XeCl. Applied Physics Letters. 1975年, 27 (6): 350–352. 
  5. ^ Tisone, GC; AK Hays, JM Hoffman. 100 MW, 248.4 nm, KrF laser excited by an electron beam. Optics Communications. 1975年, 15 (2): 188–189. 
  6. ^ Kornowski R, Leon MB, Hong MK. Current perspectives on direct myocardial revascularization. Am J Med. 1998年, 81 (7A): 44E–48E. 
  7. ^ Nguyen T, Allen K, Oesterle S. Percutaneous myocardial laser revascularization. J Interven Cardial. 1998年,. 11 (Suppl): S134–S136.