7纳米制程

7纳米制程是半导体制造制程的一个水準。

歷史

在2015年7月，IBM宣佈以矽鍺製程做出第一個可運作的7纳米電晶體^[1]^[2]。台积电在2017年年中推出试验产品^[3]^[4]，並於2018年第2季首先量產第一代7纳米晶片^[5]。

第一個問世量產的7nm晶片是台積電製造的Apple A12 Bionic，用於2018年末推出的iPhone XS和iPhone XR 智慧型手機^[6]。2019年末發表的Apple A13 Bionic使用台積電第二代7nm制程生產，用於iPhone 11及iPhone 11 Pro。

高通Snapdragon 855和华为海思的麒麟980芯片也都采用了台积电的7纳米工艺。^[7]

AMD於2019年推出采用了台积电7nm FinFET製程的RX 5700系列 GPU和Zen 2微架構 Ryzen CPU。而Intel預計2023年推出。^[8]

富士通與理化學研究所共同開發的超級電腦「富岳」，採用之ARM架構處理器A64FX，也以7纳米制程生產^[9]。

台積電在第三代7nm才引入極紫外光刻，而三星與Intel则计划直接量产采用極紫外光刻工艺的7nm芯片。^[10]

Intel的10nm的預期性能最差也僅略輸台積電的7nm，但Intel的10nm產品在台積電量產第一代7nm量產時仍未完全量產，且產品未達預期性能（甚至未明顯超越Intel改良多年的14nm產品）；因此台積電的第一代7nm、是第一個讓Intel失去領先地位的量產製程。

台積電和三星皆將後續改善的製程命名為6奈米，於2019年量產。^[11]

2020年8月台積電在官方部落格宣布，7nm製程晶片於2018年4月正式投入量產，直至2020年7月已生產出第10億顆功能完好、沒有缺陷的晶片，達成新的里程碑。

2021年7月，英特爾宣布新的節點命名方式，將其節點與物理尺寸脫勾，其中該公司首次應用EUV技術的7nm FinFET製程更名為「Intel 4」，預定於2022年下半年投產、2023年出貨^[12]^[13]。

7纳米的后继制程计划是5纳米。

以7纳米制程生產的晶片

参考文献

^ IBM Research builds functional 7nm processor. [2018-09-18]. （原始内容存档于2018-08-23）.
^ IBM Discloses Working Version of a Much Higher-Capacity Chip - NYTimes.com. [2018-09-18]. （原始内容存档于2018-09-18）.
^ WATCH OUT INTEL AND SAMSUNG: TSMC IS GEARING UP FOR 7NM PROCESSING WITH TRIAL PRODUCTION. [2016-11-22]. （原始内容存档于2016-11-07）.
^ 存档副本. [2016-11-22]. （原始内容存档于2016-11-19）.
^ 客戶擬直奔 7 奈米製程節點，台積電積極因應需求. [2018-07-05]. （原始内容存档于2018-07-05）.
^ Apple's A12 Bionic CPU for the new iPhone XS is ahead of the industry moving to 7nm chip manufacturing tech. CNET. 2018-09-12 [2018-09-16]. （原始内容存档于2018-09-16）（英语）.
^ Snapdragon 8cx Compute Platform. [2018-12-12]. （原始内容存档于2018-12-07）.
^ 英特爾財報出爐，7奈米製程產品將於2023年問世. iThome. [2021-01-25]. （原始内容存档于2021-02-05）（中文（繁體））.
^ スーパーコンピュータ「富岳」仕様. 富士通. [2020-06-23]. （原始内容存档于2020-06-26）（日语）.
^ Samsung Starts Mass Production of Chips Using Its 7nm EUV Process Tech. anandtech. [2018-10-17]. （原始内容存档于2018-10-18）（英语）.
^ Jenny. 台積電宣佈推出 6nm 工藝：以 7nm 為基底改進， 2020 年試產. XFastest News. [2019-08-07]. （原始内容存档于2019-08-07）（中文（臺灣））.
^ cnBeta. Intel宣佈全新節點命名方式：10nm改名為Intel 7、7nm改為Intel 4. 電腦王. [2021-07-27]. （原始内容存档于2021-07-27）.
^ Andy Yang. Intel 最新 10nm 技術改名為「Intel 7」，新製程路線圖看向「埃」時代. Engadget Chinese. 2021-07-27 [2021-07-27]. （原始内容存档于2021-10-29）.

外部链接

7 nm 光刻制程（页面存档备份，存于互联网档案馆）

先前 10纳米制程	半导体器件制造制程	其後 5纳米制程

[1] IBM Research builds functional 7nm processor. [2018-09-18]. （原始内容存档于2018-08-23）.

[2] IBM Discloses Working Version of a Much Higher-Capacity Chip - NYTimes.com. [2018-09-18]. （原始内容存档于2018-09-18）.

[3] WATCH OUT INTEL AND SAMSUNG: TSMC IS GEARING UP FOR 7NM PROCESSING WITH TRIAL PRODUCTION. [2016-11-22]. （原始内容存档于2016-11-07）.

[4] 存档副本. [2016-11-22]. （原始内容存档于2016-11-19）.

[5] 客戶擬直奔 7 奈米製程節點，台積電積極因應需求. [2018-07-05]. （原始内容存档于2018-07-05）.

[6] Apple's A12 Bionic CPU for the new iPhone XS is ahead of the industry moving to 7nm chip manufacturing tech. CNET. 2018-09-12 [2018-09-16]. （原始内容存档于2018-09-16）（英语）.

[7] Snapdragon 8cx Compute Platform. [2018-12-12]. （原始内容存档于2018-12-07）.

[8] 英特爾財報出爐，7奈米製程產品將於2023年問世. iThome. [2021-01-25]. （原始内容存档于2021-02-05）（中文（繁體））.

[9] スーパーコンピュータ「富岳」仕様. 富士通. [2020-06-23]. （原始内容存档于2020-06-26）（日语）.

[10] Samsung Starts Mass Production of Chips Using Its 7nm EUV Process Tech. anandtech. [2018-10-17]. （原始内容存档于2018-10-18）（英语）.

[11] Jenny. 台積電宣佈推出 6nm 工藝：以 7nm 為基底改進， 2020 年試產. XFastest News. [2019-08-07]. （原始内容存档于2019-08-07）（中文（臺灣））.

[12] Beta. Intel宣佈全新節點命名方式：10nm改名為Intel 7、7nm改為Intel 4. 電腦王. [2021-07-27]. （原始内容存档于2021-07-27）.

[13] Andy Yang. Intel 最新 10nm 技術改名為「Intel 7」，新製程路線圖看向「埃」時代. Engadget Chinese. 2021-07-27 [2021-07-27]. （原始内容存档于2021-10-29）.

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半导体器件制造

金屬氧化物半導體場效電晶體
010 µm – 1971 006 µm – 1974 003 µm – 1977 1.5 µm – 1981 001 µm – 1984 800 nm – 1987 600 nm – 1990 350 nm – 1993 250 nm – 1996 180 nm – 1999 130 nm – 2001 090 nm – 2003 065 nm – 2005 045 nm – 2007 032 nm – 2009 022 nm – 2012 014 nm – 2014 010 nm – 2016 007 nm – 2018 005 nm – 2020 003 nm – 2022
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