微技术

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一块蚀刻硅片

微技术英语:Micro-technology)包含了微機電感測和控制、驅動元件製程開發技術、微機電系統整合技術、射頻(RF MEMS)、光學(Optical MEMS)、生物醫學(Bio MEMS)、電腦與週邊(Computer Perip-heral MEMS)微機電系統研究[1][2]

参考[编辑]

  1. ^ 王伯雄等编著. 微纳米测量技术. 北京:清华大学出版社 ,. 2006.08: 2–3. ISBN 7-302-13063-9. 
  2. ^ 杨继全,朱玉芳编著. 先进制造技术. 北京:化学工业出版社 ,. 2004.09: 237. ISBN 7-5025-5961-2.